Intel hat die erste produktionsreife High-NA-EUV-Lithografieanlage der Industrie in Betrieb genommen. Dieser Meilenstein ebnet den Weg zur 14A-Chipfertigung und könnte das Kräfteverhältnis im Halbleiterkrieg neu ordnen.
Die Installation und erfolgreiche Testphase des ASML-Systems im Januar 2026 markiert den Übergang von der Entwicklung zur Serienfertigung. Intel positioniert sich damit an der Spitze der sogenannten Angström-Ära, in der Transistoren kleiner als zwei Nanometer werden. Für das Unternehmen ist dies der entscheidende Schritt, um nach Jahren des Rückstands wieder die Technologieführerschaft zu erlangen – besonders im Wettrennen um KI-Chips.
Revolutionäres Werkzeug für kleinste Strukturen
Im Zentrum des Fortschritts steht ASMLs TWINSCAN EXE:5200B, die komplexeste und teuerste Fertigungsanlage aller Zeiten. Mit einem Stückpreis von über 380 Millionen Euro übertrifft das High-NA-System herkömmliche EUV-Anlagen fundamental. Der Trick: Eine höhere numerische Apertur (0,55 statt 0,33) projiziert feinere Muster auf Silizium-Wafer – mit nur einem Belichtungsdurchgang.
Das ist ein Game-Changer. Bisher mussten für solche Strukturgrößen aufwändige Doppelbelichtungsverfahren angewendet werden, die Komplexität und Fehlerrisiko erhöhen. Die neue Single-Patterning-Methode für den 14A-Prozess verspricht hingegen kürzere Zykluszeiten und höhere Ausbeuten. Die erfolgreiche Abnahme bestätigt: Die Technologie ist bereit für den Ernstfall.
Intels selbstbewusster Kurs Richtung 14A
Unternehmensführung zeigt sich entschlossen. Auf der CES 2026 in Las Vegas verkündete CEO Lip-Bu Tan, man gehe „voll auf 14A“ – eine deutliche Kurskorrektur gegenüber früheren, vorsichtigeren Aussagen. Damals war der Knoten noch von der Akquise externer Foundry-Kunden abhängig. Das neue Selbstvertrauen deutet darauf hin, dass Intel nun genug Interesse gesichert hat.
Die Basis legt der Vorgänger 18A, der aktuell in Produktion für Prozessoren wie „Panther Lake“ geht. Dessen Schlüsseltechnologien – darunter RibbonFET-Transistoren und die PowerVia-Stromversorgung – bilden die Brücke zu 14A. Erste Prozess-Design-Kits (PDKs) für Kunden sind bereits 2026 verfügbar, die Risikoproduktion soll noch im selben Jahr starten.
Neuer Wettbewerbsvorteil gegen TSMC und Samsung
Intels All-in-Strategie für High-NA ist ein gewagtes Manöver im Dreikampf mit TSMC und Samsung. Während Samsung ebenfalls High-NA-Systeme für künftige Knoten ordert, setzt Marktführer TSMC vorerst auf erweiterte Mehrfachbelichtung mit bestehender EUV-Technik für seinen A14-Prozess. Das taiwanesische Unternehmen hält die immensen Investitionen in High-NA noch nicht für wirtschaftlich.
Hier entsteht ein strategischer Scheideweg. Gelingt Intel die Hochskalierung von 14A mit hohen Ausbeuten, könnte es einen spürbaren Vorsprung bei Transistordichte und Energieeffizienz erringen. Genau dieser technologische Vorsprung ist essenziell für Intel Foundry Services (IFS), um große fabless Kunden von TSMC abzuwerben.
Riskanter Technologievorsprung mit globaler Bedeutung
Die Inbetriebnahme des ersten kommerziellen High-NA-Systems übertrifft rein unternehmensbezogene Meilensteine. Sie beweist, dass die Industrie eine ihrer größten technischen Hürden nehmen kann. Der Übergang in die Angström-Ära ist entscheidend, um Moores Gesetz am Leben zu erhalten und den Rechenhunger der KI zu stillen.
Intels aggressiver Zeitplan bleibt ein kalkuliertes Risiko. Das Unternehmen wettet darauf, dass die Vorteile des einfacheren Single-Patterning die hohen Anschaffungskosten und Integrationsherausforderungen überwiegen. Die Konkurrenz riskiert hingegen, technologisch abgehängt zu werden, falls Intels Wagnis aufgeht und High-NA schneller zum Standard wird als erwartet.
Was kommt als Nächstes?
Jetzt folgt die Königsdisziplin: Prozessintegration und Yield-Optimierung. Intel peilt die Serienfertigung auf 14A für 2027-2028 an. In den kommenden Monaten werden erste Testchips für frühe Kunden produziert. Die gesamte Branche wird die Leistungs-, Leistungsaufnahme- und Flächendaten (PPA) genau analysieren.
Ein Erfolg würde nicht nur Intels Milliardeneinsatz rechtfertigen, sondern wahrscheinlich eine beschleunigte, branchenweite Umstellung auf High-NA auslösen. Für Verbraucher und Unternehmen bahnt sich damit eine neue Generation leistungsstärkerer und effizienterer Prozessoren an – der Treibstoff für KI, Personal Computing und Rechenzentren bis zum Ende des Jahrzehnts.
